角分辨光電子能譜儀（ARPES）因其具有能量和動量分辨能力，是探測材料能帶結構的重要手段。隨著超快激光技術的不斷發(fā)展，結合泵浦-探測技術的超快角分辨光電子能譜儀（TR-ARPES）由于兼具時間分辨能力，可以用來探測非平衡態(tài)的電子能帶信息，因此近年來備受人們的重視。特別是基于高次諧波產生（HHG）的TR-ARPES還具有光子能量高、光子能量可調諧的優(yōu)點，使得其探測范圍可以覆蓋到大范圍布里淵區(qū)，在電荷密度波（CDW）材料、過渡金屬二硫化物（TMD）材料的超快動力學過程研究中具有重要的作用。

　　圖1：實驗室設備全圖 

　　近日，中國科學院物理研究所/北京凝聚態(tài)物理國家研究中心極端條件物理重點實驗室丁洪研究組（EX7組）的博士生陳發(fā)民、潘默君、劉俊德在錢天研究員和運晨霞副主任工程師的指導下，研制成功國內首臺基于高重復頻率、高通量高次諧波光源的超快角分辨光電子能譜儀（HHG-TRARPES），并通過了專家的現(xiàn)場測試（圖1）。該儀器系統(tǒng)配備了六軸低溫樣品臺，DA30半球分析器，極限真空優(yōu)于10-10torr，最低溫度小于6K，其光子能量連續(xù)可調（20-60eV），重復頻率為0.4MHz。第18階次光子（21.6eV）的能量分辨率為109meV，時間分辨率為120fs，樣品位置處的光通量約為1011ph/s，綜合參數(shù)達到世界同類型設備的一流水平。此外，全設備接入自主開發(fā)的控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了集成化、智能化、便捷化操作，時間和角度聯(lián)動掃譜，內置真空自鎖與保護功能。目前實驗裝置已經進入穩(wěn)定運行階段，實現(xiàn)了對拓撲絕緣體Bi2Se3未占據(jù)態(tài)和電荷密度波材料1T-TiSe2能帶動力學演化過程的測量（圖2和圖3）。這一設備的搭建完成，填補了國內相關領域的空白，為未來研究量子材料中電子的超快動力學過程、未占據(jù)態(tài)以及新型電子態(tài)提供了關鍵的實驗平臺。 

　　圖2：拓撲絕緣體Bi2Se3未占據(jù)態(tài)的測量 

　　這項工作及相關研究得到北京市科委、國家自然科學基金委、中國科學院戰(zhàn)略性先導科技專項（B類）和中國科學院科研儀器設備研制項目等項目的大力支持。高次諧波光源部分得到光物理重點實驗室L07組趙昆副研究員、魏志義研究員及聯(lián)培博士生王佶、許思源等人的密切協(xié)助與配合（詳細信息請見：科研進展∣高重復頻率極紫外相干光脈沖的產生）。 

　　圖3: CDW材料1T-TiSe2的能帶動力學過程（T=87K） 

　　圖4：集成控制系統(tǒng)